等離子清洗機清洗工藝已被廣泛應用于晶圓加工、芯片封裝、傳感器、精密電子和醫療器械等領域，其優點多多，例如不會改變材料表面特性和外觀，能夠對材料做到徹底清洗。等離子體清洗機對材料的改性只限于表面，對材料基質不會產生破壞作用，因此在塑料、薄膜、纖維等材料的表面改性中具有重要意義
等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂.
等離子清洗機生產中的產生的等離子體包含大量活性粒子,如高能電子、離子、自由基、激發態的氣體原子和分子以及光子等,其能量可通過輻射、中性粒子流和離子流的碰撞等作用于塑料表面，這些粒子與塑料表面發生諸如刻蝕和清潔﹑氧化、接枝、活化、聚合等相互作用,以此改善塑料的表面特性,如表面粗糙化、表面清潔和表面親水性調變等。